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行業(yè)產(chǎn)品

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成都萊普科技股份有限公司


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SiC晶圓激光快速退火系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地成都市

塑料機械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-11-23 02:21:50瀏覽次數(shù):63次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:17條

所在地區(qū):四川成都市

聯(lián)系人:王國坤

產(chǎn)品簡介

采用激光對重摻雜 SiC 表面沉積一種或幾種過渡金屬進行合金化,精確控制激光能量和分布,形成良好的歐姆接觸。采用激光方式可忽略襯底正面結(jié)構(gòu)的影響,更好的與減薄工藝兼容,簡化工藝流程,提高器件性能。

詳細介紹

產(chǎn)品特點
  • · 支持薄片退火 · 優(yōu)秀的退火表面形貌和電學特征

  • · 10-5Ωcm2量級的比接觸電阻率

  • · 高效率、低成本控制

  • · I F 值提高 30% 以上 · 完整的全程監(jiān)控反饋功能


應用產(chǎn)品類型

1-1.jpg

技術(shù)指標

項目LA2540S LA2550S
晶圓尺寸4/6 Inch 兼容
典型掃描時間180 sec/p @4 inch90 sec/p @4 inch
激光能量密度≥ 5J/cm2
激光輸出穩(wěn)定性≤ 2%,RMS,4hrs
比電阻接觸率

≤ 10 -5Ωcm2

自動傳片系統(tǒng)雙 LoadPort、多關節(jié)機器手、預準直器

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