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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

成都萊普科技股份有限公司


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硅基淺結(jié)/超淺結(jié)晶圓激光快速退火系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地成都市

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更新時(shí)間：2024-11-23 02:20:24瀏覽次數(shù)：71次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：17條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：王國(guó)坤

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

晶圓獲得極淺的原始雜質(zhì)離子注入后，采用激光瞬間退火來(lái)激活雜質(zhì)，并精確控制注入離子的峰值深度，保證注入雜質(zhì)不發(fā)生明顯的擴(kuò)散再分布，獲得合格的超淺結(jié)源漏區(qū)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

＜ 50nm 結(jié)深控制

低至 10nm 以?xún)?nèi)的峰值濃度深度控制

優(yōu)異的雜質(zhì)形貌分布和均勻性

WPH 高達(dá) 25

完整的全程監(jiān)控反饋功能


應(yīng)用產(chǎn)品類(lèi)型

背照式圖像傳感器晶圓



技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目LA2515
晶圓尺寸4/6、6/8 inch 兼容
激光功率15W/13W
典型掃描時(shí)間90 sec/p@ 6 inch
激光能量密度0.3-3J/cm2
激活率≥ 95% @B Implant
均勻性片內(nèi)：≤ 1%，片間：≤ 1%，@6 inch，RS
自動(dòng)傳片系統(tǒng)雙 LoadPort、多關(guān)節(jié)機(jī)器手、預(yù)準(zhǔn)直器


關(guān)鍵詞：傳感器
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