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晟弘節(jié)能科技(上海)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
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所 在 地上海市
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iPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列
產(chǎn)品型號(hào)及名稱 | 真空泵Vacuum pump | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
用途 | Etch/Implant/HDP-CVD/SACVD/MOCVD/PECVD/LPCVD/ALD | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
特點(diǎn) | iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。 它優(yōu)良的性能源自于最短的轉(zhuǎn)子排氣路勁和的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。 漢鐘型線設(shè)計(jì),上海、中國(guó)臺(tái)灣制造; 較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式; 帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積; 優(yōu)化的尺寸,即插即用。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
技術(shù)指標(biāo) |
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