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行業(yè)產(chǎn)品

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晟弘節(jié)能科技（上海）有限公司


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iPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-08-12 14:41:18瀏覽次數(shù)：135次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

iPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號及名稱
真空泵
Vacuum pump
用途
 
Load Lock/Transfer/Metrology /PVD/Etch/Ashing /Litho/Implant
特點(diǎn)
 
綠色制造、全新系列干式真空泵
體積小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵
技術(shù)指標(biāo)
 
Hanbell iPM
100
600
1200
DP size
m3/h
100
100
100
BP size
m3/h
/
600
1200
Peak Speed
m3/h
100
600
1030
Ultimate Vac
mTorr
7.5
3.75
0.75
System Power at Ult.
kW
0.7
1
1.29
Dimension - L
mm
720
720
695
Dimension - W
mm
340
340
340
Dimension - H
mm
465
700
706
Noise
dB（A）
65
65
65
Weight
kg
145
200
400
Inlet Connection
ISO
63
80
100
Outlet Connection
NW
25
25
25

關(guān)鍵詞：真空泵
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