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電子束物理氣相沉積系統(tǒng)（EB-PVD）

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2025-07-19 08:21:35瀏覽次數(shù)：42次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電子束物理氣相沉積系統(tǒng)（EB-PVD）產(chǎn)品概述:電子束物理氣相沉積系統(tǒng)EB-PVD技術(shù)是以電子束作為熱源的一種蒸鍍方法，即利用高速運(yùn)動(dòng)的電子轟擊靶材表面，使材料升溫變成蒸汽而凝聚在基材表面的一種表面加工方法

詳細(xì)介紹



電子束物理氣相沉積系統(tǒng)（EB-PVD）


產(chǎn)品概述:

電子束物理氣相沉積系統(tǒng)EB-PVD技術(shù)是以電子束作為熱源的一種蒸鍍方法，即利用高速運(yùn)動(dòng)的電子轟擊靶材表面，使材料升溫變成蒸汽而凝聚在基材表面的一種表面加工方法。被廣泛用于制備熱障涂層、耐磨耐蝕涂層、高溫合金等鍍層材料，在航天航空領(lǐng)域有廣泛的用途。

特點(diǎn):

        電子束物理氣相沉積系統(tǒng)（EBPVD）
        1）蒸發(fā)速率較高，幾乎可以蒸發(fā)所有物質(zhì)，可制備任意成分的鍍層材料。

        2）電子束電流大小易于調(diào)節(jié)，束斑形狀、尺寸和位置易于控制，有利于精確控制鍍層的厚度。

        3）整個(gè)過程是在真空中進(jìn)行的，可以防止鍍層材料被污染或氧化。

        4）在控制好工藝的條件下，可使鍍層材料與靶材中的相和元素含量保持一致，可以精確控制鍍層材料的化學(xué)組分。

        5）蒸汽粒子在基材表面結(jié)晶生長(zhǎng)，使鍍層材料和基材具有良好的結(jié)合力。

   6）工藝參數(shù)：  

參數(shù)名稱 

數(shù)值 

1圓柱形零件尺寸，mm,不大于:

- 直徑 

- 長(zhǎng)度 

 

220

750

2. 零件在水平桿上旋轉(zhuǎn)速度，轉(zhuǎn)/分鐘 

1-25

3. 坩堝數(shù)量，件 

3

4. 坩堝內(nèi)直徑，mm

70

5. 蒸發(fā)靶材長(zhǎng)度，mm,不大于 

500

6. 靶材進(jìn)給速度，mm/min,范圍 

0,5 – 350

7. 坩堝上表面到零件旋轉(zhuǎn)軸或者沉積面的距離，mm

350

8.  電子槍數(shù)量及額定功率，n х kw:

   - 用于坩堝蒸發(fā)材料 

   - 用于預(yù)加熱零件 

  電子槍類型-冷陰極氣體放電 

3х100

1х30

9. 使用功率，KW,不超過 

   - 變壓器 

   - 輔助設(shè)備 

 

450

80

10. 額定工作加速電壓，kw

30

11. 工作真空度，Pa(Torr),范圍

6х10-3 – 6х10-2 (5х10-5 – 5х10-4)

12. 額定三相交流電電源電壓 50Hz, V

380

13.水冷壓力，Pa(kg/cm2) 范圍 

3х105 – 4х105 (3 – 4)

14. 水冷流量（溫度150С），m3/h，不超過 

15

15. 熱水壓力(60 – 800С), Pa(kg/cm2),范圍 

3х105 – 4х105 (3 – 4)

16. 熱水流量，m3/h，不超過 

0,5

17. 壓力4х105 – 5х105 Pa時(shí)空氣流量，m3/h，不超過 

1

18.: 設(shè)備總體尺寸, mm,不超過 

    -長(zhǎng)度 

    -寬度 

    -高度 

 

11500

8500

4000

19. 設(shè)備質(zhì)量（帶電源），t,不超過 

21,7

    涂層例

    1）如燃?xì)獍l(fā)動(dòng)機(jī)葉片: 恢復(fù)（修復(fù)）葉片，延長(zhǎng)其壽命

圖片6.png

左邊-無涂層   中間-帶金屬涂層    右邊-帶雙層金屬/陶瓷涂層

    2）帶有電子束及等離子涂層保護(hù)的燃汽輪機(jī)各種類型葉片及其他零件

     

   3）用于提高燃?xì)鉁u輪發(fā)動(dòng)機(jī)鈦葉片壽命的電子束高阻尼硬性涂層

圖片11.png圖片13.png

  從無涂層葉片（1）與有30微米厚的防護(hù)涂層（2）葉片振動(dòng)對(duì)數(shù)遞減振幅關(guān)系曲線看出，帶涂層的葉片阻尼水平比無涂層葉片高2-4倍。 

    50微米薄壁鈦葉片高阻尼硬性材料的涂層沉積，可降低其共振振幅(動(dòng)力應(yīng)力范圍）9倍，這樣可顯著延長(zhǎng)燃?xì)鉁u輪發(fā)動(dòng)機(jī)鈦葉片壽命及提高其整體使用的可靠性。



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