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系統(tǒng)140片/h

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產(chǎn)品型號SORTER SYSTEM

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更新時間：2024-12-19 17:16:54瀏覽次數(shù)：89次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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聯(lián)系人：王先生

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產(chǎn)品簡介

系統(tǒng)140片/h

詳細(xì)介紹

適用多種設(shè)備，通用性好，可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制設(shè)計，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器

PE-CVD設(shè)備


被搬運(yùn)物	150 mm 晶圓（玻璃, 藍(lán)寶石, GaAs）
處理量	140片/h（不包括裝備的處理時間）
動作范圍	到達(dá)距離（被搬運(yùn)物體中心）	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）	翻轉(zhuǎn)軸
動作范圍	672mm	335度	500 mm	180度
搬運(yùn)速度（平均速度）	機(jī)械臂	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）
搬運(yùn)速度（平均速度）	550 mm/秒	300度/秒	300 mm/秒
搬運(yùn)速度（速度）	機(jī)械臂	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）
搬運(yùn)速度（速度）	900 mm/秒	400度/秒	450 mm/秒
不配備翻轉(zhuǎn)裝置真空吸引搬運(yùn)	機(jī)械臂	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）
不配備翻轉(zhuǎn)裝置真空吸引搬運(yùn)	1800 mm/秒	540度/秒	500 mm/秒
反復(fù)偏差值	±0.1 mm以內(nèi)

位置精度	中心定位 ±0.2mm以內(nèi) 切邊定位 ±0.2度以內(nèi)
位置確定所需時間	槽口檢測 3秒以內(nèi) (不實行從新夾持動作)
位置補(bǔ)正范圍	半徑4mm以內(nèi)
<系統(tǒng)>
晶圓保持方式	真空吸引
清凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下）
占用空間	640 mm×835 mm (不包括觸摸屏)
質(zhì)量	大約350 kg
廠務(wù)	電源：單相交流200V±10% 15A 真空：-53 kPa以上