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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)STCR4000S
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
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更新時(shí)間:2024-12-19 16:57:22瀏覽次數(shù):98次
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超潔凈無塵間用4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂STCR4000S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn),雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
雙手臂結(jié)構(gòu),晶圓搬運(yùn)效率更高
EFEM;PE-CVD設(shè)備;AOI設(shè)備
被搬運(yùn)物 | ?300 mm晶圓 | ||
---|---|---|---|
手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
可動(dòng)范圍* (手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)) | 315 mm | 340度 | 300 mm |
搬運(yùn)速度 (平均速度)* | 570 mm/sec | 220度/sec | 200 mm/sec |
搬運(yùn)速度 (速度)* | 1140 mm/sec | 270度/sec | 250 mm/sec |
精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
搬運(yùn)高度* | 620 mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度) | ||
重復(fù)性精度 | ±0.1 mm以內(nèi) | ||
潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | ||
廠務(wù) | 電源:DC24V±10% 16A 真空:優(yōu)于-53 kPa |
*測試機(jī)型:STCR4160S-300-PM,使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指
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