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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)GTCR5000-AM
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
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更新時(shí)間:2024-12-19 16:49:15瀏覽次數(shù):57次
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EFEM;AOI設(shè)備
擁有適應(yīng)各種不同設(shè)備布局的優(yōu)點(diǎn),采用動(dòng)力強(qiáng)勁的伺服電機(jī),雙手臂結(jié)構(gòu),晶圓搬運(yùn)效率更高,可使用AC200伏電壓
EFEM;AOI設(shè)備
被搬運(yùn)物 | ?300 mm晶圓 | ||
---|---|---|---|
手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
可動(dòng)范圍* (手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)) | 553mm | 335度 | 300 mm |
搬運(yùn)速度 (平均速度)* | 833mm/sec | 250度/sec | 300 mm/sec |
搬運(yùn)速度 (速度)* | 1400 mm/sec | 350度/sec | 450 mm/sec |
精度* | 0.0011度 | 0.0011度 | 1.96µm |
搬運(yùn)高度* | 698mm(底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度) | ||
重復(fù)性精度 | ±0.1 mm以內(nèi) | ||
潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2(驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | ||
廠務(wù) | 電源:単相AC200V±10% 2 kVA 真空:優(yōu)于-53 kPa |
*測(cè)試機(jī)型:GTCR5280-300-AM,使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指
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