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行業(yè)產(chǎn)品

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北京銳潔機器人科技有限公司


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5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GTFR5280

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-12-19 16:47:51瀏覽次數(shù)：68次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：25條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王先生

產(chǎn)品簡介

用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂。單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。適用于300mm半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，適用于EFEM的晶片搬運。

詳細介紹

特點

    與我司以往產(chǎn)品的GTCR相比，減少動作禁止區(qū)域、速度限制的影響，提高傳片效率。
    （比本公司以往產(chǎn)品提高60%）

  • 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
  • 機械手臂可以單獨對應3個FOUP（280mm臂長）
  • 雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 可以選擇單臂規(guī)格
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式, Ethernet
  • 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機, 無需電池
  • 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指

規(guī)格
機械手臂型號 GTFR5280-320-DM
被搬運物 ～300mm晶圓
晶圓吸附方式 真空吸附式
機械結(jié)構(gòu)格式 水平多關(guān)節(jié)
控制軸 5軸
電機類型 全軸采用AC伺服電機, 無需電池
可動范圍 被搬送物體中心到達距離 升降(Z軸)
893mm 320mm
搬運速度(平均) 手臂(R軸) 升降(Z軸)
900mm/sec(圓筒動作時) 320mm/sec
搬運速度() 手臂(R軸) 升降(Z軸)
1,500mm/sec(圓筒動作時) 540mm/sec
重復性精度 ±0.05 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標準 Class 1
廠務 電源：単相AC200V±10% 2kVA
真空：優(yōu)于-75kPa(使用真空吸附式手指)
質(zhì)量 機械手臂體 大約80kg

上述規(guī)格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規(guī)格的一個示例

關(guān)鍵詞：機械手 伺服電機
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