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首昂光電(上海)有限公司
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更新時間:2024-10-25 23:34:14瀏覽次數(shù):125次
聯(lián)系我時,請告知來自 塑料機械網(wǎng)1、伺服電機驅(qū)動及主軸連接技術1.1離心旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是設備的核心功能,旋轉(zhuǎn)電機就成為設備的核心部件之一
1、伺服電機驅(qū)動及主軸連接技術
1.1離心旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是設備的核心功能,旋轉(zhuǎn)電機就成為設備的核心部件之一。本機采用伺服電機驅(qū)動方式,實現(xiàn)無極調(diào)速加減速可調(diào)。
1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負載能力,間隙更小。軸端與轉(zhuǎn)盤間采用氣密封保護,隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。
2、工作腔
工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成,腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術,易擦洗不生銹。
3、旋轉(zhuǎn)載體及片架結構
3.1旋轉(zhuǎn)載體由不銹鋼轉(zhuǎn)盤和可方便更換的不銹鋼片架組成,如需更換片架,只需將片架卸下,即可更換為另一種片架。
3.2片架采用可反轉(zhuǎn)式結構,放置花籃時將花籃翻轉(zhuǎn)到一定角度可方便的將花籃放進片架內(nèi)。
3.3該旋轉(zhuǎn)載體及片架結構不僅更換方便,而且結構簡潔,沖洗和甩干時,晶片及片盒不會留下死角。
4、層流風干法
晶片在旋轉(zhuǎn)過程中,產(chǎn)生同一方向的氣流,氣流由設備門蓋上方進入至上而下的氣流方向,經(jīng)由排風排水管道出。排風口在上方,排水口在下方。 氣流經(jīng)由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵,滿足顆粒度要求。
5、免沖水設計
設備無需增加額外沖水功能,避免二次污染,加快干燥工藝時間。
6、軸系動平衡及減震系統(tǒng)
硅片的生產(chǎn)中,降低生產(chǎn)過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用的現(xiàn)場動平衡儀,對設備的整個軸系進行動平衡。
7、系統(tǒng)控制技術
7.1控制系統(tǒng)采用可編程邏輯控制器,彩色液晶觸摸屏漢顯監(jiān)控??纱鎯Χ喾N用戶工藝菜單。同時具有密碼保護功能,用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進行編輯和修改,否則只能調(diào)用已經(jīng)保存工藝菜單。另外,根據(jù)用戶的反饋,增加了管理員密碼功能,以加強對工藝菜單的保護。
7.2設備運行過程中的工藝時間、轉(zhuǎn)子速度、轉(zhuǎn)速和工作狀態(tài)以及故障信息等均在觸摸屏上顯示,使用戶對設備狀況做到一目了然。
立式甩干機SA-SV4J | ||
序號 | 項目 | 主要性能指標和參數(shù) |
1、 | 轉(zhuǎn)子直徑 | 580mm |
2、 | 片架放置個數(shù) | 4個,4寸/25片花籃 |
3、 | 旋轉(zhuǎn)速度 | 100—800r/min |
4、 | 使用氮氣壓力 使用氮氣耗量 | 0.3—0.4MPa 5—20l/min |
5、 | 驅(qū)動電機 | 伺服電機1500W |
6、 | 系統(tǒng)控制 | PLC |
7、 | 顯示 | 彩色觸摸屏 |
8、 | 管件 | PFA管 |
9、 | 主要功能 | 甩干、烘干、高效加熱、桶加熱 |
10、 | 外形尺寸 | 810*810*900mm具體尺寸以實物為準 |
立式甩干機SA-SV4J
該系列臥式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機是根據(jù)目前光電行業(yè)和半導體分立器件等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況和市場需求研發(fā)的一種沖洗甩干設備,整機采用立式裝片結構,能夠?qū)崿F(xiàn)包括去離心甩干、循環(huán)風干燥、故障顯示報警互鎖等功能在內(nèi)的全自動處理過程。
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