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更新時間:2024-10-25 23:07:58瀏覽次數(shù):105次
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產(chǎn)品介紹:1)控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡單,易于維護(hù)
產(chǎn)品介紹:
1)控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡單,易于維護(hù)。
2)傳片方式通過導(dǎo)軌絲桿傳動。
3)主軸使用伺服電機(jī),RS485通訊精確控制轉(zhuǎn)速。
4)采用蠕動泵滴源,保證了定量滴乳膠源,可節(jié)省擴(kuò)散源用量。
5)設(shè)置靈活,多功能。通過一鍵設(shè)置,可將自動涂源轉(zhuǎn)換為手動涂源。
7)熱板控溫方式為溫控表,自帶超溫保護(hù)系統(tǒng),熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便晶圓烘烤。
轉(zhuǎn)速 5000RPM
轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)度 ≤1-4%RPM
涂源 滴膠手臂控制 步進(jìn)馬達(dá)
滴膠頭位置精準(zhǔn) ≤0.2mm
該設(shè)備為全自動上下料涂源設(shè)備,主要應(yīng)用于3-6寸晶圓涂源、烘干,采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片,自動運(yùn)行。該設(shè)備為雙軌道形式,上料、涂源、烘干、取料。
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