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首昂光電（上海）有限公司


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雙軌自動(dòng)涂源機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2024-10-25 23:07:58瀏覽次數(shù)：107次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強(qiáng)，操作簡單，易于維護(hù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強(qiáng)，操作簡單，易于維護(hù)。

2）傳片方式通過導(dǎo)軌絲桿傳動(dòng)。

3）主軸使用伺服電機(jī)，RS485通訊精確控制轉(zhuǎn)速。

4）采用蠕動(dòng)泵滴源，保證了定量滴乳膠源，可節(jié)省擴(kuò)散源用量。

5）設(shè)置靈活，多功能。通過一鍵設(shè)置，可將自動(dòng)涂源轉(zhuǎn)換為手動(dòng)涂源。

7）熱板控溫方式為溫控表，自帶超溫保護(hù)系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便晶圓烘烤。


                    轉(zhuǎn)速                       5000RPM


                   轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)度                    ≤1-4%RPM


     涂源       滴膠手臂控制                  步進(jìn)馬達(dá)       


                 滴膠頭位置精準(zhǔn)                ≤0.2mm


該設(shè)備為全自動(dòng)上下料涂源設(shè)備，主要應(yīng)用于3-6寸晶圓涂源、烘干，采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片，自動(dòng)運(yùn)行。該設(shè)備為雙軌道形式，上料、涂源、烘干、取料。

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