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首昂光電（上海）有限公司


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晶圓激光刻號機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-10-25 23:02:31瀏覽次數(shù)：101次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

是專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備，適用于2-12英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)

詳細(xì)介紹

是專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備，適用于2-12英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。

支持OCR字符和點陣字符，適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

全自動生產(chǎn)可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圓；

工業(yè)級激光器、穩(wěn)定可靠、免維護；

光束質(zhì)量好、標(biāo)識精細(xì)、可讀性好；

操作界面友好、使用方便。

技術(shù)規(guī)格                             項目                          單位                           數(shù)值

加工尺寸                  晶圓尺寸                       inch                          6英寸

激光器功率                      激光器出口處                w                              20瓦

激光器波長                      紅外光纖激光器             nm                          1064納米

                                       定位精度                       mm                          0.05毫米

                                       重復(fù)精度                       mm                          0.02毫米

振鏡                                掃描速度                mm/s                        7000毫米/秒

                                       振鏡類型                      數(shù)字/模擬                   高速數(shù)字式振鏡

                                       負(fù)載                      Kg                              1.5千克

協(xié)作機械手                      臂長                      mm                            400毫米

                                       重復(fù)精度                      mm                            正負(fù)0.03毫米

                                       Z向行程                        mm                           210微米

                                       電源                             AC                   兩相220~240V 50HZ

                                       耗電量                   Kw                           1.5千瓦

                                       單獨接地電阻                Ω                             小于4歐

                                       共用接地電阻                Ω                             小于1歐

                                       壓縮空氣供給壓力         MPa                         0.5~0.8兆帕

                                       廠務(wù)真空供給                Kpa                         -0.6千帕


2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號、打碼。


關(guān)鍵詞：機械手
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