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漢鐘IPH系列半導(dǎo)體專用真空泵

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用途： Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特點(diǎn)： IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴(yán)苛制程。 它優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。 漢鐘型線設(shè)計(jì)，上海，中國(guó)臺(tái)灣，制造。 較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式。 帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。 優(yōu)化的尺寸，即插即用。

詳細(xì)介紹

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