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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2023-11-30 15:09:39瀏覽次數(shù)：379次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：2條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細(xì)介紹

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： 

超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達(dá)距離

400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運(yùn)質(zhì)量

4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們

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