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珠海精誠通自動化設備有限公司
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更新時間：2023-08-21 15:08:09瀏覽次數(shù)：397次
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產(chǎn)品介紹模擬金屬密封;流量范圍:10sccm-5slm;精度:≤±1%FS;進氣壓力:140psi(981kPa)美國AeraFC-7700系列質(zhì)量流量計優(yōu)點：高性價比響應速度快：小于2秒的可靠性：使用一年以上
產(chǎn)品介紹
模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
進氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國Aera FC-7700系列質(zhì)量流量計
優(yōu)點：
高性價比
響應速度快：小于2秒
的可靠性：使用一年以上，零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成：標準接頭和尺寸
出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許清洗流量：高達校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
FC-7700氣體質(zhì)量流量計的詳細資料：
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產(chǎn)品，該流量計采用非金屬密封，流量控制精確，性價比高。該產(chǎn)品專為從業(yè)于半導體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場的工藝和設備工程師設計，同時，該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性價比高：
FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制，不僅性價比好，而且控制精度非常高。
響應速度快：
FC-7700系列產(chǎn)品采用設計，工作性能遠遠優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其*之處包括：采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比，F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。提高響應速度之后，避免了出現(xiàn)過沖，達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是的。
的可靠性:
由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、最少元器件的設計理念，這使它可以經(jīng)受強射頻場的干擾，滿足其它運轉要求，并具有同類產(chǎn)品中的零點漂移穩(wěn)定性--使用超過一年，零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。
易于集成:
替換其它品牌，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產(chǎn)品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。
出眾的效果：
FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時還有高度的可重復性。
型號參數(shù)：
| 類別 | FC-7700、7700C、7700CD、7700CU | FC-7710、7710C、7710CD、7710CU | FC-7720、7720C、7720CD |
| 滿量程范圍 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm |
| 20到50slm | |||
| 響應時間 | 到達設定點±2%所需時間<> | 到達設定點±2%所需時間<> | |
| 精度 | 滿量程±1%范圍內(nèi) | 滿量程±2%范圍內(nèi) | |
| 線性度 | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±1%范圍內(nèi) |
| 滿量程±1%范圍內(nèi) | |||
| 重復精度 | 滿量程±0.2%范圍內(nèi) | ||
| 漏率 | 值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
| 控制范圍 | 滿量程的5到99% | ||
| 壓差 | 7至40 psi | 10至40 psi(517至2069托) | 21至40 psi(1086至2069托) |
| (362至2069托) | 14至40 psi(724至2069托) | ||
| 正常工作壓力 | 50 psi(2586托) | ||
| 入口壓力 | 值150 psi(7740托) | ||
| 溫度范圍 | 5至45℃ | ||
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