通信基站芯片摻雜高低溫一體機(jī)，具備快速升降溫特性，升溫速率可達(dá)6℃/min，降溫速率達(dá)4℃/min，大幅縮短摻雜工藝時(shí)間?！?.1℃的控溫精度，有效控制摻雜原子擴(kuò)散深度與濃度。設(shè)備支持多程序預(yù)設(shè)功能，可快速切換不同