Mapping系列光譜橢偏儀是全自動(dòng)高精度Mapping繪制化測(cè)量光譜橢偏儀，配置全自動(dòng)Mapping運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)薄膜全基片的膜厚及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測(cè)量表征。