氣動高真空擋板閥Pneumatic High Vacuum Flapper Valve
GDQ型是通過電磁換向閥改變氣路方向,控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動閥門作啟閉運(yùn)動。GDQ-J/S型高真空氣動擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。GDQ-J/S型高真空氣動擋板閥適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。GDQ-J/S型高真空氣動擋板閥帶反饋信號裝置。
GDQ型氣動高真空擋板閥主要技術(shù)性能 Main Technical Performance
適用范圍:Applicability 105~1.3×10-4Pa(軸封為橡膠) ; 105~1.3×10-5Pa(軸封為波紋管)
閥門漏率:Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.(軸封為橡膠) ; ≤1.3×10-5Pa.L/S.(軸封為波紋管)
適用溫度:Applicable Temperature -25~+80℃(丁橡膠) ; -30~+150℃(氟橡膠)
氣源壓力:Annoy pressure 0.4~0.6MPa
真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運(yùn)動而實(shí)現(xiàn)密封的。驅(qū)使閥桿運(yùn)動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件,以螺紋結(jié)構(gòu)為主,也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。分別為直角式、直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動兩用的傳動部件,由電動機(jī)、蝸輪、蝸桿組成,并裝有行程開關(guān)。
高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn),形式多樣,規(guī)格齊全,公稱尺寸DN150~1200,結(jié)構(gòu)合理等,因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中,如用于真空鍍膜設(shè)備,真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。
GDQ型氣動高真空擋板閥主要零件材料 Materials of Main Parts
閥體、閥蓋、閥桿:鋁合金、碳鋼或不銹鋼 Body, bonnet and stem: aluminium alloy, carbon steel or stainless steel
密封件:丁橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封)。Sealing element: NBR, Viton, bellows(shaft seal)
主要技術(shù)性能
Main Technical Performance
適用范圍:Applicability 105~1.3×10-4Pa(軸封為橡膠)
105~1.3×10-5Pa(軸封為波紋管)
閥門漏率:Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.(軸封為橡膠)
≤1.3×10-5Pa.L/S.(軸封為波紋管)
適用溫度:Applicable Temperature -25~+80℃(橡膠)
-30~+150℃(氟橡膠)