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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地青島市
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更新時間:2024-12-25 21:57:22瀏覽次數(shù):30次
聯(lián)系我時,請告知來自 塑料機械網(wǎng)產(chǎn)品介紹Product Introduction
簡介
Introduction
SORTER是一個工廠材料傳輸設(shè)備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統(tǒng),可以手動或者配合AGV或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小,采用無X軸的雙臂機械手,通過雙軸復(fù)合運動實現(xiàn)取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu),保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足iso class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設(shè)備的安全。
參數(shù)
Parameter
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