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青島新松機(jī)器人自動(dòng)化有限公司
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聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 塑料機(jī)械網(wǎng)產(chǎn)品介紹Product Introduction
簡(jiǎn)介
Introduction
大負(fù)載真空機(jī)械手, LED芯片制造領(lǐng)域的真空機(jī)械手產(chǎn)品,主要用于LED芯片制造過(guò)程中,實(shí)現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤在各個(gè)工藝腔室間的傳送,具有真空度高,負(fù)載大,傳輸效率高,耐高溫等特點(diǎn),大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率,是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。傳統(tǒng)的LED芯片制造采用集成電路制造制程應(yīng)用的真空機(jī)械手,其負(fù)載能力只有1kg。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機(jī)械手的基礎(chǔ)上,針對(duì)其大負(fù)載需求,創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律,使其能夠達(dá)到20.5kg的負(fù)載能力,同時(shí)保持很小的占用體積,保持高耐真空度及潔凈等級(jí)。
參數(shù)
Parameter
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