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ETSA-300氣浮平臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-12-20 15:54:32瀏覽次數(shù)：126次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：天津天津市

聯(lián)系人：崔先生

產(chǎn)品簡介

ETSA-300氣浮平臺說明：1.氣浮平臺克服了傳統(tǒng)機(jī)械定位臺行程短，響應(yīng)滯后大，摩擦阻力等不足，實(shí)現(xiàn)了長行程高精度與高速定位功能，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備，精密測量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有不可替代的作用

詳細(xì)介紹

ETSA-300氣浮平臺

說明：

1.氣浮平臺克服了傳統(tǒng)機(jī)械定位臺行程短，響應(yīng)滯后大，摩擦阻力等不足，實(shí)現(xiàn)了長行程高精度與高速定位功能，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備，精密測量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有不可替代的作用。

2.重復(fù)定位精度高，俯仰偏擺角度小，運(yùn)動臺與導(dǎo)軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會出現(xiàn)氣 浮臺常見的“抱死"現(xiàn)象。

特點(diǎn)：

通過靜壓氣浮隔離機(jī)械運(yùn)動副之間的接觸，提高平臺機(jī)構(gòu)運(yùn)動精度、表面平滑、微小偏差（俯仰， 偏擺等）、性能穩(wěn)定、沒有機(jī)械損耗、“零"摩擦可使其進(jìn)入納米級應(yīng)用。

使用場所：

精密加工、精密測量、微電子制造業(yè)、光刻機(jī)平臺、半導(dǎo)體加工業(yè)、掃描。


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