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行業(yè)產(chǎn)品

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昆山獨角獸機器人有限公司


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川崎 NT520 工作范圍：1280mm

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-12-19 20:17:07瀏覽次數(shù)：61次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：253條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：別軍義

產(chǎn)品簡介

川崎 NT520 工作范圍：1280mm

詳細介紹


NT系列機器人:

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

應(yīng)用:

  • 無塵室

無塵機器人外設(shè):

  • 抓手
  • 校準(zhǔn)器NS004
  • 產(chǎn)品介紹
的伸展距離單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP多到五個。高吞吐量標(biāo)準(zhǔn)NT機器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH?？捎眠x配的抓手，增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規(guī)NT型號可以瞬時響應(yīng)電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時自動恢復(fù)運行。SEMI S2合規(guī)NT型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。懸掛式安裝NT620型號具有吊裝規(guī)格設(shè)計，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時滿足ISO1級的要求。

應(yīng)用范例

NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個梭子或額外的機器人。

布局范例

一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。

NT系列機器人規(guī)格

型號 NT410 NT420 NT510 NT520 NT620
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型
自由度 4 軸 5 軸 4 軸 5 軸 5 軸
運動范圍 θ1 軸
(旋轉(zhuǎn)JT2) 		340° 340° 340° 340° 340°
Z 軸
(上下JT3) 		400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm
θ2 軸
(旋轉(zhuǎn)JT4) 		340° 340° 340° 340° 340°
H1 軸
(旋轉(zhuǎn)JT6) 		340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2
H2 軸
(旋轉(zhuǎn)JT7) 		- 340° - 380° 380°
大伸展距離 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm
重復(fù)性 ± 0.1 mm （晶圓中心）
無塵度*1 ISO 1級
控制柜 D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測得

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