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行業(yè)產(chǎn)品

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昆山獨(dú)角獸機(jī)器人有限公司


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川崎 NT510 工作范圍：1230mm

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-12-19 20:16:15瀏覽次數(shù)：78次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：253條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：別軍義

產(chǎn)品簡介

川崎 NT510 工作范圍：1230mm

詳細(xì)介紹


NT系列機(jī)器人:

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

應(yīng)用:

  • 無塵室


無塵機(jī)器人外設(shè):

  • 抓手
  • 校準(zhǔn)器NS004
  • 的伸展距離單個(gè)的NT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP多到五個(gè)。高吞吐量標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時(shí)（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH。可用選配的抓手，增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規(guī)NT型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。SEMI S2合規(guī)NT型號(hào)可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。懸掛式安裝NT620型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO1級的要求。

    應(yīng)用范例

    NT系列寬廣的運(yùn)動(dòng)范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個(gè)梭子或額外的機(jī)器人。

    布局范例

    一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到4個(gè)FOUP就訪問所有的EFEM。

    NT系列機(jī)器人規(guī)格

    型號(hào) NT410 NT420 NT510 NT520 NT620
    構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型
    自由度 4 軸 5 軸 4 軸 5 軸 5 軸
    運(yùn)動(dòng)范圍 θ1 軸
    (旋轉(zhuǎn)JT2)         		340° 340° 340° 340° 340°
    Z 軸
    (上下JT3)         		400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm
    θ2 軸
    (旋轉(zhuǎn)JT4)         		340° 340° 340° 340° 340°
    H1 軸
    (旋轉(zhuǎn)JT6)         		340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2
    H2 軸
    (旋轉(zhuǎn)JT7)         		- 340° - 380° 380°
    大伸展距離 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm
    重復(fù)性 ± 0.1 mm （晶圓中心）
    無塵度*1 ISO 1級
    控制柜 D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜)

    *1: 于川崎的無塵間內(nèi)測得



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