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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

北京銳潔機(jī)器人科技有限公司


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儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓的自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SSY-11010

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話(huà)：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2024-12-19 17:20:00瀏覽次數(shù)：64次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線(xiàn)

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

    能夠安全，準(zhǔn)確地搬運(yùn)儲(chǔ)片盒內(nèi)的減薄晶圓。
    搭載儲(chǔ)片盒自動(dòng)開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)（已申請(qǐng)）

  • 自動(dòng)識(shí)別儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
  • 一臺(tái)設(shè)備可以完成打包和拆包的功能
  • 儲(chǔ)片盒和片盒間晶圓的無(wú)損傷自動(dòng)搬運(yùn)
  • 可選裝針對(duì)減薄晶圓的伯努利手指
  • 可自動(dòng)識(shí)別晶圓高度
  • 可滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)多個(gè)片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
  • 可對(duì)應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲(chǔ)片盒
  • 配備2套高效過(guò)濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
  • 配備顏色視覺(jué)傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線(xiàn)

規(guī)格
可對(duì)應(yīng)片盒的種類(lèi) 200 mm 儲(chǔ)片盒, 200 mm 片盒
被搬運(yùn)物 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲(chǔ)片盒內(nèi)墊片(片間墊片)
潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
外形尺寸 1600 (寬) x 1305 (深) x 1800 (高)
廠務(wù) 電源：AC200V±10%  潔凈氣源：0.5 MPa 150 NL/min 以上
重量 700 kg

*我司可以針對(duì)客戶(hù)對(duì)晶圓尺寸、儲(chǔ)片盒數(shù)量、是否需要校準(zhǔn)器等不同需求提供訂制設(shè)計(jì)。
  有關(guān)產(chǎn)品規(guī)格等事宜敬請(qǐng)咨詢(xún)我司。可對(duì)應(yīng)多家廠商規(guī)格的儲(chǔ)片盒。更多信息請(qǐng)咨詢(xún)弊司。

關(guān)鍵詞：PA 傳感器

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