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沈陽麥科材料加工設(shè)備有限公司


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激光分子束外延系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間：2024-11-05 19:42:02瀏覽次數(shù)：83次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品型號激光分子束外延系統(tǒng)產(chǎn)品簡介激光分子束外延是近十年來出現(xiàn)的高精密制膜技術(shù)，它綜合了脈沖激光沉積和分子束外延的特點和優(yōu)勢，可在高真空、超高真空條件下實現(xiàn)原位實時監(jiān)控薄膜原子尺度層狀外延生長

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號 激光分子束外延系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介

  激光分子束外延是近十年來出現(xiàn)的高精密制膜技術(shù)，它綜合了脈沖激光沉積和分子束外延的特點和優(yōu)勢，可在高真空、超高真空條件下實現(xiàn)原位實時監(jiān)控薄膜原子尺度層狀外延生長。適用于多種有機、無機薄膜的制備，尤其適宜于用其它制膜設(shè)備和方法難以制備的高熔點、多元素（特別是含有氣體元素時）、復(fù)雜層狀結(jié)構(gòu)的薄膜和超晶格的制備，并可同時進行激光與物質(zhì)相互作用及成膜過程的物理、化學(xué)觀測，為探索、開發(fā)新材料、新器件及相關(guān)基礎(chǔ)研究提供了一個強有力的平臺。

 

適用范圍： 
   ★   適用于多種有機、無機薄膜的制備，尤其適宜于用其它制膜設(shè)備和方法難以制備的高熔點、多元素（特別是含有氣體元素時）、復(fù)雜層狀結(jié)構(gòu)的薄膜和超晶格的制備，并可同時進行激光與物質(zhì)相互作用及成膜過程的物理、化學(xué)觀測，為探索、開發(fā)新材料、新器件及相關(guān)基礎(chǔ)研究提供了一個強有力的平臺。

 

主要特點
技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo): 
 ★ 外延室:
直徑500mm不銹鋼球形腔體，裝配有靶組件、基片臺等部件及多種窗口/觀察窗、接口、樣品傳遞（磁傳送桿）
外延室背底真空度：2～10-8 Pa以上
 ★ 靶組件： 
可裝Φ70mm靶材4塊，可制備2英寸外延基片 

換靶定位精度：0.1° 
靶材自傳頻率：0.5 ~ 5Hz
靶與基片間距: 

調(diào)節(jié)范圍：35－95mm
 ★ 基片臺：
基片旋轉(zhuǎn)：0 ~ 360°, 0.2 ~ 5Hz
工作溫度：850 °C
溫度起伏：≤ ±0.1 °C
 ★ 紅外測溫儀：
測溫范圍：300～1200°C
靈敏度：0.1°C
最小可測面積：Φ2mm
 ★ 四極質(zhì)譜儀：
最小可測分壓：5x10-11Pa
質(zhì)量范圍：2~100amu
靈敏度：0.4/Pa(N)
 ★ 二維激光掃描調(diào)節(jié)范圍：
掃描角度：X,Y - 0° ~ 20°
掃描周期：X - 10 ~ 60s,Y - 30 ~ 120s
光束取向：0° ～ 360°
 ★ 控制計算機：
可建立160個用戶（每用戶可有40個靶系統(tǒng)硬件組態(tài)子目錄，每子目錄有40個RECIPE工作目錄，每RECIPE可有88個STAGE）
RHEED計算機數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)：
每次可采集存儲圖像8幅、強度振蕩數(shù)據(jù)點60 000個
數(shù)據(jù)采樣頻率：16個/秒、8個/秒、3個/秒、1個/秒
活性氣體裝置：
工作氣壓范圍： 1~ 5 x 10-3 Pa
原子氧濃度：≥10 % 

產(chǎn)品規(guī)格
耗材
可選配件

關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀

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