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MC10i硅片切割機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2024-10-24 18:53:33瀏覽次數(shù)：103次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：20條

所在地區(qū)：上海上海市

產(chǎn)品簡介

新推出的MC10i智能微切割系統(tǒng)具備液氮噴涂能力，是結(jié)晶材料高質(zhì)量、高精度、高通量SEM制樣的解決方案。MC10i 利用并向客戶提供增強的 winning微切割技術(shù)功能。MC10i 智能桌面系統(tǒng)是 MC10 平臺的增強版，配備液氮噴涂功能，可實現(xiàn)半自動、可靠、可重復(fù)、快速切割晶圓片和芯片的高切割精度。

詳細介紹

新推出的MC10i智能微切割系統(tǒng)具備液氮噴涂能力，是結(jié)晶材料高質(zhì)量、高精度、高通量SEM制樣的解決方案。
MC10i 利用并向客戶提供增強的 winning微切割技術(shù)功能。

MC10i 智能桌面系統(tǒng)是 MC10 平臺的增強版，配備液氮噴涂功能，可實現(xiàn)半自動、可靠、可重復(fù)、快速切割晶圓片和芯片的高切割精度。

切割過程中的液氮噴涂通過顯著提高金屬線、硬質(zhì)抗蝕劑層、TSV 和其他材料的橫截面質(zhì)量，為故障分析提供了強大的附加功能。
專用軟件可實現(xiàn)切割元件的精que定位控制和對齊。切割后的樣品可立即進行檢查和分析。

MC10i 與 PCM 和 TMO 的組合具有目標標記、初始樣品提取和zui終橫截面的特點，具有高通量、高一致性精度和所產(chǎn)生橫截面的出色自然晶格質(zhì)量。
MC10i 套件的這些gao級功能顯著縮短了故障分析和過程監(jiān)控的周轉(zhuǎn)時間。

 

更多詳情圖片

 

 



增強能力

  • 裂解時可控液氮噴淋

  • 金屬、抗蝕劑和其他材料的高質(zhì)量橫截面

  • 防止在切割過程中拉出材料

特征

  • 半自動可控切割工藝

  • 精度優(yōu)于5微米，多為2-3微米

  • 處理時間——一分鐘

  • 極小的輸入樣品或芯片——低至 1×1 mm

  • 切割距離晶圓或芯片邊緣近 1 毫米

  • 連續(xù)切割多個目標

  • 具有高達 1000 倍可變放大倍率的gao級光學(xué)器件

  • 軟件可控的切割過程

  • 內(nèi)置真空

  • “免維護"服務(wù)模式

優(yōu)點

  • 周轉(zhuǎn)時間大大減少

  • 改進產(chǎn)量分析

  • 改善表征

  • 改善和提高 SEM 和 FIN 的利用率

  • 擁有成本低

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