CIF掃描電鏡等離子清洗機

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更新時間：2024-11-14 19:33:36瀏覽次數(shù)：178次

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賽福儀器承德有限公司

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產(chǎn)品簡介

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，并可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳氫化合物的清洗。

詳細介紹

0609_遠程等離子.jpg

產(chǎn)品特點

v 雙等離子清洗源

v 一機多用

v 高效低損傷

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40（CF40）
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)，
	遠程等離子源，自動匹配器
氣體控制	標配單路質(zhì)量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制	美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源/功率	220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器，氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護