CIF中試型等離子清洗機CPC-12系列

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更新時間：2024-11-14 18:54:14瀏覽次數(shù)：102次

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賽福儀器承德有限公司

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產(chǎn)品簡介

CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件的等離子體清洗設(shè)備，幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效，特別適合于大學(xué)，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點：

PLC工控機控制整個清洗過程，全自動進(jìn)行。

7寸彩色觸摸屏互動操作界面，實時工作參數(shù)狀態(tài)直觀顯示。

手動、自動兩種工作模式。

數(shù)字流量計控制，控制更準(zhǔn)確。

符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面設(shè)計，操作方便，界面友好。

頂置真空倉，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式。

上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。

有效處理面積大，可處理8寸硅片去膠等應(yīng)用。

可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進(jìn)行清洗和改性。

安全保護，倉門打開，自動關(guān)閉電源。

技術(shù)參數(shù)：

型號	CPC-12	CPC-12plus
艙體尺寸	H120xΦ370mm	H120xΦ370mm
艙體容積	12.8L	12.8L
射頻電源	40KHz	13.56MHz
匹配器	自動匹配	自動匹配
射頻功率	10-300W可調(diào)	10-300W可調(diào)
氣體控制	質(zhì)量流量計（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路）
處理尺寸	Φ370mm圓盤
產(chǎn)品尺寸	L618xW520xH465mm
包裝尺寸	L750xW640xH570mm
時間設(shè)定	1-99分59秒
真空泵	抽速約8m3/h
氣體穩(wěn)定時間	1分鐘
真空度	100pa以內(nèi)
電源	AC220V 50-60Hz

關(guān)鍵詞：PLC 流量計 PC 真空泵

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