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行業(yè)產(chǎn)品

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廣州科朋科學(xué)儀器有限公司


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等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地廣州市

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更新時間：2025-01-06 11:35:01瀏覽次數(shù)：39次

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產(chǎn)品簡介

PR300/301等離子灰化機(jī)性能特點：等離子灰化機(jī):大口徑石英工作倉配備

詳細(xì)介紹

PR300/301

等離子灰化機(jī)性能特點：
等離子灰化機(jī):大口徑石英工作倉配備,小型一體化設(shè)計,操作簡單的觸摸屏控制面板  

等離子灰化機(jī)性能用途：
硅晶圓表面光刻膠殘留物的灰化
零部件清洗
界面活性處理
微量研磨
基板的表面處理

等離子灰化機(jī)性能規(guī)格：
型號PR300PR301PR500/PR510
同調(diào)方式手動2軸同調(diào)方式自動調(diào)諧
反應(yīng)槽3室超硬質(zhì)玻璃φ64×160mm×31室超硬質(zhì)玻φ118×160mm石英制φ215×305mm
加熱器不銹鋼線圈加熱器手動/觸摸屏聯(lián)動控制
配管材質(zhì)SUS不銹鋼、特佛倫、銅、銅合金SUS不銹鋼、特佛倫
方式DP方式
頻率13.56MHz
反應(yīng)氣體1系統(tǒng)2系統(tǒng)
外形尺寸
(W*D*Hmm)		438×520×556mm438×520×656mm438×520×760mm
輸出功率Max.300WMax.500W
價格：請問詢


 



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