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SRP-4探頭——SRP-4面銅探頭(CMI700探頭)測試技術(shù)參數(shù):銅厚測量范圍:化學(xué)銅:10μin–500μin(0.25μm–12.7μm)電鍍銅:0.1mil–6mil(2.5μm–152μm)線形銅可測試線寬范圍:8mil–250mil(203μm–6350μm)準(zhǔn)確度:±1%(±0.1μm)參考標(biāo)準(zhǔn)片精確度:化學(xué)銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.2%
SRP-4探頭——SRP-4面銅探頭(CMI700探頭)測試技術(shù)參數(shù):
銅厚測量范圍:
化學(xué)銅:10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)
電鍍銅:0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)
線形銅可測試線寬范圍:8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)
準(zhǔn)確度:±1% (±0.1 μm)參考標(biāo)準(zhǔn)片
精確度:化學(xué)銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %;電鍍銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.5 %
分辨率:0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,
0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm
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