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BP210系列硅諧振壓力傳感器

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數(shù)字化系統(tǒng)協(xié)同設(shè)計(jì)、MEMS工藝制造諧振工作原理健壯、本征數(shù)字輸出信號(hào)

詳細(xì)介紹

1、主要特點(diǎn)：
數(shù)字化系統(tǒng)協(xié)同設(shè)計(jì)、MEMS工藝制造
諧振工作原理健壯、本征數(shù)字輸出信號(hào)
振子真空微囊包裹結(jié)構(gòu)、高Q值長(zhǎng)期穩(wěn)定
差頻工作模式、分辨率和靈敏度高
適于表壓、絕壓、差壓高精度測(cè)量
覆蓋低、中、高寬壓力量程范圍

2、主要性能技術(shù)指標(biāo)

序號(hào)
項(xiàng)目
規(guī)格指標(biāo)
備注
1
壓力類型
表壓、差壓
絕壓
絕壓
基準(zhǔn)壓力量程
0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa
1^*
2
過(guò)載能力
≥3倍基準(zhǔn)量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基準(zhǔn)量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基準(zhǔn)量程（≥60MPa）
1^*

被測(cè)介質(zhì)
與金屬、單晶硅、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體和液體

3
激勵(lì)電源
5～24 Vdc

4
準(zhǔn)確度
≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS
2^*、3^*
5
工作溫度范圍
-55～+125℃

6
補(bǔ)償溫度范圍
－55～＋85℃

7
典型工作頻率
30～50kHz
2^*
8
靈敏度
2～15Hz/hPa
2^*
9
Q值
＞20000

10
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
±0.02%FS/年
2^*、
11
電流消耗
3.5mA

12
絕緣電阻
>100MW
8^*
13
電氣連接模式
接插件、多芯線纜

14
測(cè)量接口形式
螺紋、法蘭
6^*

注：1^*. 可用戶定制；
2^*. 5VDC恒壓激勵(lì)，恒溫25℃；
3^*.非線性數(shù)據(jù)計(jì)算為最小二乘法；
4^*. 100VDC。

注：可提供定制服務(wù)，如有需求請(qǐng)與營(yíng)銷人員聯(lián)系。

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序號(hào)	項(xiàng)目	規(guī)格指標(biāo)		備注
1	壓力類型	表壓、差壓	絕壓	絕壓
1	基準(zhǔn)壓力量程	0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa	1^*
2	過(guò)載能力	≥3倍基準(zhǔn)量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基準(zhǔn)量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基準(zhǔn)量程（≥60MPa）		1^*
	被測(cè)介質(zhì)	與金屬、單晶硅、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體和液體
3	激勵(lì)電源	5～24 Vdc
4	準(zhǔn)確度	≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS		2^、3^
5	工作溫度范圍	-55～+125℃
6	補(bǔ)償溫度范圍	－55～＋85℃
7	典型工作頻率	30～50kHz		2^*
8	靈敏度	2～15Hz/hPa		2^*
9	Q值	＞20000
10	長(zhǎng)期穩(wěn)定性	±0.02%FS/年		2^*、
11	電流消耗	3.5mA
12	絕緣電阻	>100MW		8^*
13	電氣連接模式	接插件、多芯線纜
14	測(cè)量接口形式	螺紋、法蘭		6^*