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沈陽北博電子科技有限公司

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BP110系列SOI硅壓阻壓力敏感芯片

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產(chǎn)品簡介

數(shù)字化系統(tǒng)協(xié)同設(shè)計(jì)、MEMS工藝制造SiO2層絕緣隔離擴(kuò)散硅敏感電阻

詳細(xì)介紹

1、主要特點(diǎn)

數(shù)字化系統(tǒng)協(xié)同設(shè)計(jì)、MEMS工藝制造
SiO₂層絕緣隔離擴(kuò)散硅敏感電阻
消除PN結(jié)反向飽和漏電流、時(shí)漂特性優(yōu)化
適應(yīng)高寬工作溫度范圍
自補(bǔ)償恒流激勵(lì)滿量程熱漂移
多種惠斯登電橋開/閉合連接形式
應(yīng)力匹配玻璃襯片隔離
表壓、絕壓、差壓類型齊全
覆蓋低、中、高寬壓力測量量程
2、主要技術(shù)指標(biāo)

序號(hào)
項(xiàng)目
規(guī)格指標(biāo)
備注
1
基準(zhǔn)壓力量程
表壓、差壓
絕壓

0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa、100Mpa、150MP

2
量程過載能力
≥3倍基準(zhǔn)量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準(zhǔn)量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準(zhǔn)量程（≥60MPa）
1^*
3
橋路電阻
3～5kΩ

5
零點(diǎn)輸出
≤ ±25mV
2^*
6
滿量程輸出
≥20mV（20kPa、35kPa）； ≥30 mV（20kPa、30kPa）；
  ≥50 mV（其它基準(zhǔn)量程）
2^*
7
準(zhǔn)確度
≤ ±0.2%FS （其它基準(zhǔn)量程）；   ≤ ±0.25%FS （≤60kPa、≥60MPa、100MPa）
± 0.5%FS（≤10kPa）
2^*、3^*
8
靈敏度對(duì)稱性
≤ ±0.2%FS
3^*
9
工作溫度范圍
-55～+150℃；

10
熱零點(diǎn)漂移
≤ 1%FS/55℃（≤10kPa）；      ≤ 0.8%F.S /55℃（其它基準(zhǔn)量程）
4^*、5^*
11
熱靈敏度漂移
≤2%FS/55℃（≤10kPa）；       ≤ 1%F.S /55℃（其它基準(zhǔn)量程）
4^*、5^*
12
短期穩(wěn)定性
≤±0.03%FS/8h
2^*
13
激勵(lì)電源
恒流0.5～1.5mA,或恒壓5V～10V

14
電橋連接形式
閉橋

15
芯片表面尺寸
≤3.5×2.75（mm）
≤2.3×2（mm）
≤1.55×1.55（mm）
6^*

   注：1^*. 150MPa量程過載為本量程上限；          4^*. 1mADC恒流激勵(lì)，恒溫25℃；
                             2^*. 5VDC恒壓激勵(lì)，恒溫25℃；                5^*. 55℃溫區(qū)為-30～25℃或25～80℃；
                             3^*. 非線性數(shù)據(jù)計(jì)算為最小二乘法；            6^*.硅片厚度c=500μm。

注：可提供定制服務(wù)，如有需求請與營銷人員聯(lián)系。

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評(píng)價(jià)時(shí)間	類別	詳細(xì)內(nèi)容	評(píng)價(jià)者	IP地址

總共條本頁條

序號(hào)	項(xiàng)目	規(guī)格指標(biāo)				備注
1	基準(zhǔn)壓力量程	表壓、差壓		絕壓
		0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa		100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa、100Mpa、150MP
2	量程過載能力	≥3倍基準(zhǔn)量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準(zhǔn)量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準(zhǔn)量程（≥60MPa）				1^*
3	橋路電阻	3～5kΩ
5	零點(diǎn)輸出	≤ ±25mV				2^*
6	滿量程輸出	≥20mV（20kPa、35kPa）； ≥30 mV（20kPa、30kPa）； ≥50 mV（其它基準(zhǔn)量程）				2^*
7	準(zhǔn)確度	≤ ±0.2%FS （其它基準(zhǔn)量程）； ≤ ±0.25%FS （≤60kPa、≥60MPa、100MPa） ± 0.5%FS（≤10kPa）				2^、3^
8	靈敏度對(duì)稱性	≤ ±0.2%FS				3^*
9	工作溫度范圍	-55～+150℃；
10	熱零點(diǎn)漂移	≤ 1%FS/55℃（≤10kPa）； ≤ 0.8%F.S /55℃（其它基準(zhǔn)量程）				4^、5^
11	熱靈敏度漂移	≤2%FS/55℃（≤10kPa）； ≤ 1%F.S /55℃（其它基準(zhǔn)量程）				4^、5^
12	短期穩(wěn)定性	≤±0.03%FS/8h				2^*
13	激勵(lì)電源	恒流0.5～1.5mA,或恒壓5V～10V
14	電橋連接形式	閉橋
15	芯片表面尺寸	≤3.5×2.75（mm）	≤2.3×2（mm）		≤1.55×1.55（mm）	6^*