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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢華工激光工程有限責任公司


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全自動晶圓打標設(shè)備
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  • 全自動晶圓打標設(shè)備

貨物所在地: 湖北武漢市
發(fā)布時間: 2025-01-31 12:06:11
期: 2025年1月31日--2025年4月30日
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產(chǎn)品簡介

?針對泛半導(dǎo)體和3C行業(yè),應(yīng)用于Si、GaN、SiC、玻璃以及表面鍍層材料的各類型標識,適用于8英寸及以上晶圓。 設(shè)備型號 HD S2113 定位精度 ≤±0.03mm 加工尺寸精度 ≤±0.02mm

詳細介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 01
    皮秒光源,效果好

    采用皮秒光源,在材料表面進行打標/打碼,熱影響小,效果好


  • 02
    打標/打碼支持多種格式
    ?可支持:QRCode、DMCode、線體文字等多種格式 


  • 03
    支持信息上傳

    配備讀碼模塊,支持信息上傳MES系統(tǒng)


  • 04
    兼容性及自動化程度高

    設(shè)備兼容8-12inch晶圓,全自動上下料


  • 05
    自動開關(guān),節(jié)省人工
    ?配備Load機構(gòu),可自動打開/關(guān)閉晶圓料盒


  • 06
    大理石基座,穩(wěn)定性高

    采用大理石基座,光路系統(tǒng)穩(wěn)定,從而保證高質(zhì)量的光學(xué)傳輸


技術(shù)參數(shù)
HD S2113主要技術(shù)參數(shù)
激光器參數(shù)平均輸出功率≥5W(選配)
脈沖寬度<10ps
激光波長光源選配
直線電機參數(shù)
CCD定位系統(tǒng)
讀碼系統(tǒng)
電機行程450*650mm
像素1200萬像素,定位精度0.003mm
像素600萬像素
加工精度定位精度≤±0.03mm
加工尺寸精度≤±0.02mm
搬運機器人機器人手臂數(shù)單/雙臂
Finger夾持/吸附
其他功能上料機
Mapping功能
尋邊機兼容8- 12inch
通用指標潔凈等級百級500
設(shè)備尺寸1900mm*1800mm*1950mm(主體)
設(shè)備重量約2.5t


樣品展示

推廣產(chǎn)品

Promotional products

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