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SATOVAC佐藤真空計
日本的真空度標(biāo)準(zhǔn)(1次標(biāo)準(zhǔn))是設(shè)置在產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的光波干涉式標(biāo)準(zhǔn)氣壓計(大氣壓~102Pa,不確定度±0.7Pa),設(shè)置在該電子技術(shù)綜合研究所的標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計(1.3~1.3×10-2Pa,不確定度±2%為基準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計的校準(zhǔn)是針對日本真空協(xié)會委托的副標(biāo)準(zhǔn)電離真空計用球VS-1實施的
真空計SATOVAC佐藤DW-60
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SATOVAC佐藤真空計
日本的真空度標(biāo)準(zhǔn)(1次標(biāo)準(zhǔn))是設(shè)置在產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的光波干涉式標(biāo)準(zhǔn)氣壓計(大氣壓~102Pa,不確定度±0.7Pa),設(shè)置在該電子技術(shù)綜合研究所的標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計(1.3~1.3×10-2Pa,不確定度±2%為基準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計的校準(zhǔn)是針對日本真空協(xié)會委托的副標(biāo)準(zhǔn)電離真空計用球VS-1實施的,該校準(zhǔn)后的真空計為2次標(biāo)準(zhǔn)(使用壓力范圍2.7×10-1~1.3×被稱為10-4Pa,不確定度±3%,是可以使用也可靠的真空計。
通常將其作為標(biāo)準(zhǔn)使用,用于其他實用真空計的校準(zhǔn)。關(guān)于校正法,在JISZ8750中進(jìn)行了詳細(xì)說明,在10-2Pa~10-7Pa附近的用途中,制造商使用VS-1進(jìn)行校正的B-A真空計在市面上銷售。如果用這樣的方法校正靈敏度的話,實際使用的各個真空計的靈敏度將達(dá)到國家一次標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)這樣的體系建立時,它被評價為已經(jīng)建立了可追溯性。
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