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蘇州多威儀器設備有限公司
OLYMPUSMX51產品特性●緊湊的設計實現最小的占地空間●鏡臂部分和鏡體分開
OLYMPUS MX51 產品特性
● 緊湊的設計實現最小的占地空間
● 鏡臂部分和鏡體分開,使高的樣品觀察成為可能
● 標配158X158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)
● 選配長工作距離物鏡,極大方便磁頭檢查
● 采用防靜電設計,極大方便磁頭檢查
● 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性,滿足SEMI S2/S8標準
OLYMPUS MX51 技術規(guī)格
MX51 光學系統(tǒng):
UIS (無限遠矯正) 光學系統(tǒng)
MX51 顯微鏡鏡體:
Z軸同軸粗微調調焦,載物臺行程范圍:32mm(從焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同:15mm(配合透射光照明)
Z軸微調焦每旋轉一周的行程0.1mm(1個單位1μm)
調焦機構張力可調
有調焦上限位機構
MX51 照明系統(tǒng):
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