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OLYMPUS MX61/MX61L

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蘇州多威儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OLYMPUSMX61/MX61L產(chǎn)品特性●大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板

詳細(xì)介紹

OLYMPUS MX61/MX61L 產(chǎn)品特性

● 大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)
● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利
● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
● 透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提高液晶基板觀察效果

OLYMPUS MX61/61L 產(chǎn)品特點(diǎn)

縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率
自動(dòng)聚焦附件 MX-AF	透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLB
MX專用的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動(dòng)對(duì)焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。	兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀察。
高反差，更高分辨率，更高倍率檢查	用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式
共聚焦附件 U-CFU	熒光分光鏡模塊
共聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.18μm,并可對(duì)多層線條的器件分層對(duì)焦，獲得高分辨率，高反差的共焦圖像。	備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。
方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C	用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查近紅外線觀察附件
MX61/MX61L標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能，并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。	包括專門的紅外物鏡等附件，對(duì)從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查。