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更新時間:2023-11-06 16:02:56瀏覽次數(shù):187次
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MSA-600顯微式激光測振儀
產(chǎn)品特點:
? 微型結(jié)構(gòu)的面外振動,測量單點振動或者兩點間的相對振動
如:梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
? 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動
如:梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
? 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌
如:梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
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