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MSA-600顯微式激光測振儀

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更新時間:2023-11-06 16:02:56瀏覽次數(shù):187次

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產(chǎn)品簡介

MSA-600顯微式激光測振儀

詳細(xì)介紹


MSA-600顯微式激光測振儀


產(chǎn)品特點:

? 集多功能于一體的光學(xué)測量工作站
? 真正的實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理
? 的亞pm位移分辨率
? 測量速度快,振型可視化顯示
? 操作界面直觀友好
? 全自動化測量,易于集成至商用探針臺上

技術(shù)參數(shù):








應(yīng)用領(lǐng)域:

? 微型結(jié)構(gòu)的面外振動,測量單點振動或者兩點間的相對振動
如:梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

? 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動

如:梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

? 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌

如:梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌






關(guān)鍵詞:壓力傳感器 流量傳感器
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