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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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真空機(jī)械手PHOENIX PLUS B系列

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-12 08:52:22瀏覽次數(shù)：213次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，與PHOENIX B系列相比，將控制器集成到機(jī)械手本體之內(nèi)，大大縮減了整體尺寸，IO處理模塊進(jìn)行升級(jí)，具有*的防碰撞保護(hù)功能。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)，支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

詳細(xì)介紹

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒(méi)有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性好，可靠性高。與PINUS B系列相比，將控制器集成到機(jī)械手本體之內(nèi)，大大縮減了整體尺寸，并且縮短了互聯(lián)線纜長(zhǎng)度，可靠性得以提升。IO處理模塊，可以根據(jù)用戶需求配置輸入輸出數(shù)量，有效電平可以切換，用戶可以根據(jù)需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。碰撞保護(hù)功能可以減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。以示教器作為人機(jī)交互媒介，方便調(diào)試人員使用?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。


參數(shù)：

本體重量Body Weight

50KG

適用晶圓尺寸Wafer Size

300mm/200mm/150mm/100mm

負(fù)載Payload

1KG

電源輸入Power Supply

24 V DC, ±5%

節(jié)拍Bear

10.5 s(Pick+Rotate180°+Place，與手指材料、傳輸位置相關(guān))

動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC)

±0.1mm

重復(fù)定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm（3σ）

T: ±0.006°（3σ）

R: ±0.05mm（3σ）

漏率Leak rate

< 1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

5X10-9Torr

適用溫度

Applicable temperature

法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>11million cycles

復(fù)合運(yùn)動(dòng)

Compound motion

支持Support

PC遠(yuǎn)程操作軟件

支持Support

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support

安全區(qū)Safe area

支持Support

碰撞保護(hù)

Collision protection

支持Support



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