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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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真空機(jī)械手ARCHER 系列

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-12 08:50:45瀏覽次數(shù)：191次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)硬件中斷功能。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

詳細(xì)介紹

機(jī)械手本體采用多電機(jī)同軸結(jié)構(gòu)，動(dòng)作更加靈活穩(wěn)定；高重復(fù)定位精度，并具備AWC自動(dòng)糾偏功能，保證傳片精度；耐真空性，可勝任高真空環(huán)境下晶圓傳片需求。直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒(méi)有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖、傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能。在此基礎(chǔ)上，Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式，四手指結(jié)構(gòu)，雙取雙放，大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。

參數(shù)：

本體重量Body Weight

90KG

適用晶圓尺寸Wafer Size

300mm/200mm

負(fù)載Payload

1KG

電源輸入Power Supply

AC電壓:208V AC頻率：50HZ/60HZ

電源范圍 電壓波動(dòng)范圍

單相交流208V +10%，-15%

節(jié)拍Bear

8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據(jù)手指材料，傳輸位置不同相關(guān))

動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC)

±0.1mm

運(yùn)動(dòng)范圍

Range

R：994mm

T：＞360°

Z：135mm

重復(fù)定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm（3σ）

T: ±0.003°（3σ）

R: ±0.05mm（3σ）

漏率Leak rate

< 5 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

3X10-8Torr

適用溫度

Applicable temperature

法蘭:<90℃;本體:<50℃;手臂:<90℃

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>12.8million cycles

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support


關(guān)鍵詞：機(jī)械手 傳感器

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