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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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TTS-4000 EFEM（4工位EFEM）

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

塑料機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2023-09-11 13:51:39瀏覽次數(shù)：189次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一體化程度高，自動(dòng)化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制。

詳細(xì)介紹

新松一直致力于提供半導(dǎo)體晶圓加工和其他復(fù)雜的制造環(huán)境所需的高性能、超潔凈和久經(jīng)考驗(yàn)的可靠性。該四工位EFEM是集成大氣機(jī)器人，預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)以及緩存工位等部件的綜合性產(chǎn)品，可以給客戶提供晶圓傳送的一體化方案。產(chǎn)品具有很強(qiáng)的適應(yīng)性，以滿足特定的應(yīng)用需求。推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。滿足半導(dǎo)體制造商的期望和要求。

參數(shù)：

項(xiàng) 目

Input信息

Wafer規(guī)格

材質(zhì)尺寸

300mm wafer

Alignment Mark

Notch

厚度

標(biāo)準(zhǔn)wafer

溫度

≤200℃

與傳送片接觸處的材質(zhì)

陶瓷

片盒規(guī)格（類型、廠家、段數(shù)、段間距等）

Foup

AMHS（自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)）要求

OHT

搬送精度（Alignment精度）

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage數(shù)（LP數(shù)）

4

Load Lock

Stage數(shù)（LL）

4

位置（XYZ）

四個(gè)LL

Wafer放置精度　X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整機(jī)規(guī)格

參照尺寸說(shuō)明

Foot Print

Ｗ

≤2575

Ｄ

≤750

Ｈ

≤2500

重量

≤1600KG

整機(jī)設(shè)計(jì)參照標(biāo)準(zhǔn)

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

軟件界面設(shè)計(jì)參考標(biāo)準(zhǔn)

SEMI E30, E84



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