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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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SRBZ1440A潔凈機(jī)器人

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-11 13:36:02瀏覽次數(shù)：165次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

采用磁流體密封技術(shù)，網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，具有*的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能，擁有SEMI認(rèn)證，MCBF大于1000萬(wàn)次，同時(shí)具備超高潔凈度，耐高溫、耐腐蝕，負(fù)載能力強(qiáng)等特點(diǎn)。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制，負(fù)載、手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。是大負(fù)載真空機(jī)械手的*之選。

詳細(xì)介紹

大負(fù)載真空機(jī)械手， LED芯片制造領(lǐng)域的真空機(jī)械手產(chǎn)品，主要用于LED芯片制造過(guò)程中，實(shí)現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤(pán)在各個(gè)工藝腔室間的傳送，具有真空度高，負(fù)載大，傳輸效率高，耐高溫等特點(diǎn)，大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。傳統(tǒng)的LED芯片制造采用集成電路制造制程應(yīng)用的真空機(jī)械手，其負(fù)載能力只有1kg。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機(jī)械手的基礎(chǔ)上，針對(duì)其大負(fù)載需求，創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律，使其能夠達(dá)到20.5kg的負(fù)載能力，同時(shí)保持很小的占用體積，保持高耐真空度及潔凈等級(jí)。


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結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驅(qū)動(dòng)方式Driving method伺服電機(jī)Servo Motor
手?jǐn)?shù)量Number of Arm單臂Single Arm
負(fù)載Payload名稱(chēng)name托盤(pán)Tray
直徑diameterΦ710mm
重量weight≤10.5kg
自由度數(shù)DOF3
手臂長(zhǎng)度Arm Length355mm

手指長(zhǎng)度（安裝中心至硅片中心）

Finger length(distance from install center to wafer center)		765mm

運(yùn)動(dòng)范圍

Moving Range		Z軸Z-axis

150mm

R軸，機(jī)械手旋轉(zhuǎn)中心至工藝腔中心 R-axis, robot center to process chamber center極限(Ultimate)1440mm
θ軸θ-axis無(wú)限回轉(zhuǎn)Infinite Rotation

全行程最小時(shí)間

Minimum running time		Z軸Z-axis1s/35mm
R軸R-axis5s/伸出或縮回Extend or Retraction
θ軸θ-axis5s/180°

重復(fù)定位精度

Repeatability		θ軸（°）θ-Axis±0.01（3σ）
R軸（mm）R-Axis±0.1（3σ）

機(jī)械手帶φ710mm負(fù)載后最小回轉(zhuǎn)直徑

Robot minimum turning diameter with Φ 710 mm load		1530mm

伸出1440mm負(fù)載直徑710mm最前端下垂量

The front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load		5.5mm
重復(fù)定位精度Repeatability±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)10--6Pa
重量Weight機(jī)械手本體Main-body100kg
控制器Controller15kg
碰撞保護(hù)Collision Protect Function

盤(pán)片和機(jī)械手無(wú)損傷/工位需重新校準(zhǔn)
Disc and robot without damage/need to recalibrate position




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