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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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PINUS1-B潔凈機(jī)器人

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-11 13:33:05瀏覽次數(shù)：144次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

詳細(xì)介紹

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒(méi)有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶(hù)可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能，方便客戶(hù)配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶(hù)誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶(hù)應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。


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本體重量Body Weight50KG
適用晶圓尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
負(fù)載Payload1KG
電源輸入Power SupplyAC電壓:100-240V AC頻率：50HZ/60HZ
節(jié)拍Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根據(jù)手指材料，傳輸位置不同相關(guān))
動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC)±0.1mm
重復(fù)定位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm（3σ）
T: ±0.003°（3σ）
R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate< 1 x 10E-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure5X10-9Torr

適用溫度 Applicable temperature

法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>1100million cycles

復(fù)合運(yùn)動(dòng) Compound motion

支持Support
PC遠(yuǎn)程操作軟件支持Support
通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support

安全區(qū)Safe area

支持Support

碰撞保護(hù)Collision protection

支持Support



關(guān)鍵詞：傳感器 PC

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