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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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大氣機(jī)械手SRBJ1A-AS3491

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間：2023-09-11 13:31:13瀏覽次數(shù)：226次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高潔凈等級(jí)，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)，Mapping功能，SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制。

詳細(xì)介紹

大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用*的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本，提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實(shí)現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，使得機(jī)器人可以采用任意姿勢(shì)來(lái)取放晶元，允許更多的片盒直線排布，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢(shì)之選。


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結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負(fù)載Payload名稱name晶圓wafer
直徑diameterΦ200mm/Φ300mm
重量weight≤0.5kg
自由度數(shù)DOF3
回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter520mm

運(yùn)動(dòng)范圍

Moving Range		升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis330mm
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis330°
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-AxisR736mm

速度

Maximum Moving Speed		升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis360°
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis900mm/s

重復(fù)定位精度

Repeatability		升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)



關(guān)鍵詞：機(jī)械手

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