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更新時間:2022-12-10 10:22:41瀏覽次數(shù):278次
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數(shù)字MEMS燃氣傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體氣敏材料組成?!?/p>
數(shù)字MEMS燃氣傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體氣敏材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。燃氣的濃度越高,傳感器的電導率就越高。該傳感器靈敏度高,小巧精密,預置2個引腳作為報警觸發(fā)信號輸出,可廣泛應用于環(huán)境安全,便攜儀器等諸多領域。
MEMS工藝、穩(wěn)定可靠、超低功耗、高靈敏度、抗電磁干擾
便攜儀器、工礦安全、醫(yī)療衛(wèi)生、現(xiàn)場控制、氣象監(jiān)測
工作電壓 | 2.8-3.3V | 工作電流 | 0.3mA |
加熱電流 | 25mA | 加熱功率 | 80mW |
最小可檢測濃度 | 1%LEL | 可檢測濃度 | 25%LEL |
相對濕度范圍 | 5%-95% Rh | 儲存濕度范圍 | 5%-95% Rh |
工作環(huán)境溫度 | -20-70℃ | 儲存溫度范圍 | -40-85℃ |
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