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更新時間:2022-10-02 09:21:44瀏覽次數(shù):261次
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勞厄單晶取向測試系統(tǒng),實時確定晶體方向,精度高達0.1度;PSEL 軟件定向誤差低至 0.05度;
勞厄單晶取向測試系統(tǒng):
水平放置系統(tǒng)
特征 | 優(yōu)點 |
<200um 光束尺寸 | 可測量小 晶體 |
電動位移臺 | 可沿生長軸軸向掃描 |
電動角位移 | 與同步加速器/中子設(shè)備直接兼容 |
手動角位移 | 與切割刀具直接兼容 |
垂直放置系統(tǒng)
特征 | 優(yōu)點 |
<200um 光斑 | 適用于小晶粒的多晶結(jié)構(gòu) |
大范圍電動線性掃描位移臺 | 允許自動晶圓mapping或多個樣品 |
電動Z 軸驅(qū)動 | 適用大尺寸晶棒或樣品 |
手動角位移 | 允許定位到+/- 0.02度精度 |
配備PSEL CCD 背反射勞厄X-RAY 探測器:
勞厄影像校準軟件:
系統(tǒng)附件包括:
典型勞厄衍射應(yīng)用圖樣:
勞厄單晶取向測試系統(tǒng)應(yīng)用方向:
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