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晶圓平坦設(shè)備 磨平機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)4001500108

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所  在  地蘇州市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

超薄晶圓平坦化加工夾持的方法與流程。目前國(guó)外對(duì)于LT薄片加工的方法為雙面拋光后進(jìn)行單面粗化來(lái)達(dá)到制程應(yīng)用的需求,但此種工藝需對(duì)晶片進(jìn)行雙面拋光加工,加工時(shí)間與成本上升許多,且難以保證單面粗化的過(guò)程對(duì)于晶片另一表面不會(huì)造成損傷。

詳細(xì)介紹

 超薄晶圓平坦化加工夾持的方法與流程。目前國(guó)外對(duì)于LT薄片加工的方法為雙面拋光后進(jìn)行單面粗化來(lái)達(dá)到制程應(yīng)用的需求,但此種工藝需對(duì)晶片進(jìn)行雙面拋光加工,加工時(shí)間與成本上升許多,且難以保證單面粗化的過(guò)程對(duì)于晶片另一表面不會(huì)造成損傷。

  國(guó)內(nèi)另有一種現(xiàn)有工法為單面拋光制程,該制程利用上蠟或者吸附墊方式將晶片固定住,然而此作法做出來(lái)的晶片平坦度水準(zhǔn)較雙拋工藝差,常常造成后段黃光微影制程的困擾,致使晶片表現(xiàn)不佳亦或是短路。

  雙拋工藝受限夾治具的剛性強(qiáng)度要求,晶片越往薄化發(fā)展代表對(duì)應(yīng)的夾具需要更薄,此時(shí)夾具剛性已無(wú)法提供穩(wěn)定的加工保證,其時(shí)成品率將大幅降低或者加工成本會(huì)大幅上升。

  使用上蠟將晶片固定的作法也容易因?yàn)樯舷孪炛瞥唐毡樾枰郎鼗蚪禍卮偈股頌閴弘姴牧系腖T發(fā)生破碎,尤其是晶片厚度較薄時(shí)。

  使用吸附墊方式將晶片固定的作法也無(wú)法將晶片做薄,主要原因?yàn)長(zhǎng)T晶片材質(zhì)易碎薄化過(guò)程中背面使用軟的吸附墊晶片容易造成形變發(fā)生碎片。

  上述的幾項(xiàng)傳統(tǒng)加工工藝無(wú)法達(dá)到LT晶片厚度<200um,且平坦度在5mm2<0.5um,PLTV>95%穩(wěn)定產(chǎn)品品質(zhì)要求,為此,我們提出一種超薄晶圓平坦化加工夾持的方法。

友碩ELT晶圓平坦化設(shè)備:

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晶圓平臺(tái)化設(shè)備


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