銷(xiāo)售高低溫探針臺(tái)報(bào)價(jià)
GP200-SE 面議注塑機(jī) 擠出機(jī) 造粒機(jī) 吹膜機(jī) 吹塑機(jī) 吹瓶機(jī) 成型機(jī) 吸塑機(jī) 滾塑機(jī) 管材生產(chǎn)線 板材生產(chǎn)線 型材生產(chǎn)線 片材生產(chǎn)線 發(fā)泡設(shè)備 塑料壓延機(jī)
昆山友碩新材料有限公司
會(huì)員1.png)
昆山友碩新材料有限公司
產(chǎn)品型號(hào)4001500108
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地蘇州市
塑料機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2021-02-05 14:01:39瀏覽次數(shù)：759次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 塑料機(jī)械網(wǎng)暫無(wú)信息 |
超薄晶圓平坦化加工夾持的方法與流程。目前國(guó)外對(duì)于LT薄片加工的方法為雙面拋光后進(jìn)行單面粗化來(lái)達(dá)到制程應(yīng)用的需求，但此種工藝需對(duì)晶片進(jìn)行雙面拋光加工，加工時(shí)間與成本上升許多，且難以保證單面粗化的過(guò)程對(duì)于晶片另一表面不會(huì)造成損傷。
超薄晶圓平坦化加工夾持的方法與流程。目前國(guó)外對(duì)于LT薄片加工的方法為雙面拋光后進(jìn)行單面粗化來(lái)達(dá)到制程應(yīng)用的需求，但此種工藝需對(duì)晶片進(jìn)行雙面拋光加工，加工時(shí)間與成本上升許多，且難以保證單面粗化的過(guò)程對(duì)于晶片另一表面不會(huì)造成損傷。
國(guó)內(nèi)另有一種現(xiàn)有工法為單面拋光制程，該制程利用上蠟或者吸附墊方式將晶片固定住，然而此作法做出來(lái)的晶片平坦度水準(zhǔn)較雙拋工藝差，常常造成后段黃光微影制程的困擾，致使晶片表現(xiàn)不佳亦或是短路。
雙拋工藝受限夾治具的剛性強(qiáng)度要求，晶片越往薄化發(fā)展代表對(duì)應(yīng)的夾具需要更薄，此時(shí)夾具剛性已無(wú)法提供穩(wěn)定的加工保證，其時(shí)成品率將大幅降低或者加工成本會(huì)大幅上升。
使用上蠟將晶片固定的作法也容易因?yàn)樯舷孪炛瞥唐毡樾枰郎鼗蚪禍卮偈股頌閴弘姴牧系腖T發(fā)生破碎，尤其是晶片厚度較薄時(shí)。
使用吸附墊方式將晶片固定的作法也無(wú)法將晶片做薄，主要原因?yàn)長(zhǎng)T晶片材質(zhì)易碎薄化過(guò)程中背面使用軟的吸附墊晶片容易造成形變發(fā)生碎片。
上述的幾項(xiàng)傳統(tǒng)加工工藝無(wú)法達(dá)到LT晶片厚度<200um，且平坦度在5mm2<0.5um，PLTV>95%穩(wěn)定產(chǎn)品品質(zhì)要求，為此，我們提出一種超薄晶圓平坦化加工夾持的方法。
友碩ELT晶圓平坦化設(shè)備：
?很好的螢光膜涂佈方案，精準(zhǔn)控制厚度，達(dá)到理想中BIN率
?很具價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)性的CSP製程
?輕易實(shí)現(xiàn)MiniLED 拼接問(wèn)題
?解決MicroLED Mass Transfer 良率問(wèn)題
?LED 偏黃報(bào)廢品重工
?實(shí)踐各種結(jié)構(gòu)的可行性 (阻水結(jié)構(gòu)、Bump結(jié)構(gòu))
?解決料帶靜電吸附的問(wèn)題
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
銷(xiāo)售高低溫探針臺(tái)報(bào)價(jià)
GP200-SE 面議
國(guó)產(chǎn)整體式數(shù)控車(chē)床哪家好
CNK1250/1500 面議塑料機(jī)械網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
