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激光微調(diào)是利用數(shù)控激光切割機(jī)的激光器可聚焦成很小的光斑，能量集中，有選擇的氣化部分材料來(lái)制造微電子元件的一種方法。

用激光對(duì)電阻、電容進(jìn)行精密微調(diào)，加工時(shí)對(duì)臨近的元件熱影響極小，不產(chǎn)生污染，易于計(jì)算機(jī)控制，具有速度快、效率高、可連續(xù)監(jiān)控等優(yōu)點(diǎn)，與常規(guī)微調(diào)方法相比，還具有精度高、再現(xiàn)性好和阻值不隨時(shí)間變化的特點(diǎn)。

激光微調(diào)廣泛用于厚、薄膜元件和電路的參數(shù)微調(diào)，包括電阻器、電容器、石英諧振腔、單片濾波器的參數(shù)調(diào)諧，混合集成電路放大器、分壓器、穩(wěn)流器、數(shù)字模擬與模擬數(shù)字交換器、高頻振蕩器、運(yùn)算放大器等以及石英壓電設(shè)備（包括振蕩器、濾波器）的功能調(diào)節(jié)，半導(dǎo)體集成電路的微調(diào)，消除了影響多種集成電路精度的種種限制。

由于激光光束能精確的定向、定位在小尺寸區(qū)域內(nèi)，并以規(guī)定的形式結(jié)合小的熱作用區(qū)，可對(duì)薄膜元件進(jìn)行精密單件微調(diào)，因加工中沒(méi)有中間（化學(xué)）過(guò)程并可在大氣中加工，所以可實(shí)時(shí)檢驗(yàn)結(jié)果，并實(shí)現(xiàn)激光加工過(guò)程的自動(dòng)化，具有精度高、工藝簡(jiǎn)便和高效的特點(diǎn)。