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北京杜克泰克科技有限公司


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AMC空氣分子污染物ppb級VOC監(jiān)測系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號阿瑞斯-µVOC

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2021-05-21 12:29:50瀏覽次數(shù)：801次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：37條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：李欣蓓 （市場）

產(chǎn)品簡介

空氣分子污染物 （AMC） 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

詳細介紹

阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。

 

檢測限達到sub-ppb級

 

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

 

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

 

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

 

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。

 

阿瑞斯-µVOC  系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。

 

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

 

 

在新風(fēng)空調(diào)箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產(chǎn)機臺上方SWIF下方安裝化學(xué)過濾器，實際生產(chǎn)過程中過濾器的維護和更換，如果太早或者太遲都會引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。

 

帶有16通道的 阿瑞斯-µVOC  系統(tǒng)可以監(jiān)測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當(dāng)進來的氣體不符合過濾標準時采樣點位于進風(fēng)系統(tǒng)上游；當(dāng)吸收能力耗盡時采樣點位于下游。

 

阿瑞斯-µVOC 系統(tǒng)專為連續(xù)監(jiān)測、無人值守操作設(shè)計，是專業(yè)的過程分析工具，16通道采樣點可以通過設(shè)置自動進樣進行分析，每個通道都有報警設(shè)置功能，移動式使用功能使阿瑞斯-µVOC 系統(tǒng)成為診斷空氣分子污染物AMC的理想工具。

 

板載標定功能，匹配嚴格的質(zhì)量控制規(guī)則。

 

實時顯示測量結(jié)果，無計算運行。

標配，給提供客戶遠程聯(lián)網(wǎng)技術(shù)服務(wù).


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