空氣分子污染物 （AMC） 對(duì)于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。
無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。
檢測限達(dá)到sub-ppb級(jí)
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。
隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。
污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散，并且成份的增加，分子污染物來自多個(gè)源頭，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。
阿瑞斯-µVOC 系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級(jí)測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。
在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動(dòng)化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測
獨(dú)立分開測量有機(jī)物成份
Sub-ppb檢測限
集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
在新風(fēng)空調(diào)箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)上方SWIF下方安裝化學(xué)過濾器，實(shí)際生產(chǎn)過程中過濾器的維護(hù)和更換，如果太早或者太遲都會(huì)引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。
帶有16通道的 阿瑞斯-µVOC 系統(tǒng)可以監(jiān)測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當(dāng)進(jìn)來的氣體不符合過濾標(biāo)準(zhǔn)時(shí)采樣點(diǎn)位于進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)上游；當(dāng)吸收能力耗盡時(shí)采樣點(diǎn)位于下游。
阿瑞斯-µVOC 系統(tǒng)專為連續(xù)監(jiān)測、無人值守操作設(shè)計(jì)，是專業(yè)的過程分析工具，16通道采樣點(diǎn)可以通過設(shè)置自動(dòng)進(jìn)樣進(jìn)行分析，每個(gè)通道都有報(bào)警設(shè)置功能，移動(dòng)式使用功能使阿瑞斯-µVOC 系統(tǒng)成為診斷空氣分子污染物AMC的理想工具。
板載標(biāo)定功能，匹配嚴(yán)格的質(zhì)量控制規(guī)則。
實(shí)時(shí)顯示測量結(jié)果，無計(jì)算運(yùn)行。
標(biāo)配，給提供客戶遠(yuǎn)程聯(lián)網(wǎng)技術(shù)服務(wù).
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