el1202數(shù)字量端子*全新BECKHOFF倍福PLC*現(xiàn)貨大部分的半導體產(chǎn)品 – 例如，處理器和內(nèi)存 – 都是硅設
備，而現(xiàn)在，其它很多產(chǎn)品，包括發(fā)光二極管（LED）和微
波元器件，則是由其它半導體材料制成，比如氮化鎵和磷化在使用這些特殊半導體材料制造產(chǎn)品時的一個關(guān)鍵工藝
就是空白晶圓的生產(chǎn)，實際上，它是一種制造成品設備的原
材料。

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開發(fā)、生產(chǎn)并供應 MOCVD 反應器來生產(chǎn)這些晶圓
是 Thomas Swan Scientific 公司的主營業(yè)務，而其母公司
Aixtron AG 則是的化學氣相淀積設備供應商。
MOCVD 的工藝原理并非深奧難懂。對于每個待制造的晶圓（一種基片）通常是由藍寶石或硅制成，放置在反應器中el1202數(shù)字量端子*全新BECKHOFF倍福PLC*。
然后，各種氣體 － 有些含有所需半導體材料 － 被吸入到反應器室內(nèi)。如果氣體的溫度和壓力以及基片的時間 / 溫
度分布能夠受到精確控制，超純半導體材料就能夠沉積在基
片表面形成一層薄的金屬膜，然后制成成品空白晶圓MOCVD 的工藝原理并非深奧難懂。對于每個待制造的晶圓
（一種基片）通常是由藍寶石或硅制成，放置在反應器中。然后，各種氣體 － 有些含有所需半導體材料 － 被吸入到
反應器室內(nèi)。如果氣體的溫度和壓力以及基片的時間 / 溫度分布能夠受到精確控制，超純半導體材料就能夠沉積在基**
片表面形成一層薄的金屬膜，然后制成成品空白晶圓。雖然工藝原理可能簡單易懂，但在生產(chǎn)設備的可靠部件中實
施這些方案卻是一個非常有挑戰(zhàn)性的任務。

創(chuàng)新設計是*的一部分，Thomas Swan *的噴淋領(lǐng)頭式氣體噴嘴
設計方案就的例證。顧名思義，它看起來就像是一個
老式的扁平噴嘴，表面布有很多小孔。這種噴嘴用于將氣體導入至反應器，它的這種布置可確保氣體均勻分布在貼近噴
嘴處的基片表面。由于該噴嘴有獨立的通道，可用于兩種氣體，因此，它也可確保在用一種以上的氣體時，僅在進入反
應器的時刻才混合。這一點非常重要，因為有些氣體混合物反應形成的固體化合物可能會堵塞其它類型的輸送統(tǒng)*。
可靈活應對各種需求變化的控制系統(tǒng)創(chuàng)新的工藝設計只能應對生產(chǎn)可靠、有效的 MOCVD 反應
器過程中的部分挑戰(zhàn)。精確、可靠的控制也至關(guān)重要，考慮到半導體行業(yè)的發(fā)展如此迅猛，其市場需求也會不斷變化，理想的情況就是，所選用的控制系統(tǒng)必須能夠為未來的發(fā)展
提供保證。