- 01加工質(zhì)量高
利用超短脈沖加工，減少崩邊、脫層和熱影響，采用高精度視覺定位，保障開槽位置
- 02加工效率高
基于空間光調(diào)制技術(shù)，整形光斑尺寸和形狀可調(diào)節(jié)，且激光能量利用率高，響應(yīng)快
- 03設(shè)備集成度高
集成保護(hù)液涂覆、晶圓開槽和清洗模塊
供應(yīng)
供應(yīng)
產(chǎn)品詳情
利用超短脈沖加工，減少崩邊、脫層和熱影響，采用高精度視覺定位，保障開槽位置
基于空間光調(diào)制技術(shù)，整形光斑尺寸和形狀可調(diào)節(jié)，且激光能量利用率高，響應(yīng)快
集成保護(hù)液涂覆、晶圓開槽和清洗模塊
| 內(nèi)容 | 主要技術(shù)參數(shù) | |
| 激光器參數(shù) | 中心波長 | ~532nm |
| 加工頭 | 空間光整形模塊 | |
| 加工性能 | 有效工作行程 | 300x400mm(選配) |
| 重復(fù)定位精度 | ±1μm | |
| 視覺定位 | 自動視覺定位 | |
| 開槽深度 | ≥10µm | |
| 其他 | 晶圓尺寸 | 8 inch （可兼容12inch ） |
| 工藝流程 | 保護(hù)液涂覆— 晶圓開槽—清洗 | |
| 加工對象 | Low- k晶圓 、硅基GaN 等 | |
摘要:采用自主開發(fā)高品質(zhì)的光源
[詳細(xì)]
摘要:設(shè)備適用于各種金屬薄板、
[詳細(xì)]
摘要:陶瓷專機(jī)可兼容材料有Al2O3
[詳細(xì)]
摘要:MARVELH系列高性能超高功率
[詳細(xì)]
摘要:MARVELPro系列高性能平面激
[詳細(xì)]
摘要:適用于各種金屬薄板、微精
[詳細(xì)]
摘要:設(shè)備主要應(yīng)用于皮革、膜類
[詳細(xì)]
摘要:MARVELPlus系列平面激光切
[詳細(xì)]
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